Photovoltaik: Deutliche Wirkungsgradsteigerung für PERC ZellenDie zur Meyer Burger Gruppe gehörende Roth & Rau AG (Hohenstein-Ernstthal) und die InnoLas Systems GmbH haben bei Kunden PECVD Anlagen und Laser für PERC Solarzellen als Upgrade installiert und damit den Wirkungsgrad von standard monokristallinen Zellen signifikant um bis zu einen Prozentpunkt erhöhen können. Die Technologie könne ab sofort in bestehende Produktionslinien integriert werden, heißt es in einer Pressemitteilung.
Das Verfahren hierfür wurde von Roth & Rau und InnoLas entwickelt und in enger Zusammenarbeit mit Endkunden in laufenden Produktionslinien verifiziert. InnoLas Geschäftsführer Richard Grundmüller: „Entscheidend ist, dass wir diesen Wirkungsgradzugewinn nicht nur unter Laborbedingungen erreichen, sondern auch in industriellen Fertigungslinien. Unsere Technologie hat sich in den letzten Monaten als sehr robust bewährt und kann ab sofort in bestehende Produktionslinien integriert werden.“
Eingesetzt werden eine Roth & Rau MAiA PECVD Anlage für die Rückseitenpassivierung mit Aluminiumoxid und Siliziumnitrid sowie eine InnoLas Systems ILS TT für die Laserkontaktöffnung. Mit dieser Systemkombination werden Liniendurchsätze von bis zu 3.400 Wafern pro Stunde erzielt, womit den Durchsatzanforderungen einer hochmodernen industriellen Massenfertigung von Solarzellen entsprochen wird, heißt es in der entsprechenden Pressemitteilung. Der höhere Wirkungsgrad stellt für die Zellenhersteller einen deutlichen Wettbewerbsvorteil dar.
Roth & Rau Vertriebsvorstand Thomas Hengst: „Wir haben die beiden notwendigen Beschichtungsprozesse für die Rückseitenpassivierung in die bewährte SiNA/MAiA Plattform integriert. Die modulare Bauweise gewährleistet ein Optimum an Prozessflexibilität und Durchsatzvariabilität. Dadurch können die Konfigurationen leicht an bestehende Anforderungen angepasst und zusätzlich Betriebskosten gesenkt werden. Eine erhöhte Prozesssicherheit entsteht durch das Aufbringen des AlOx- und des SiN-Cap Layers ohne Unterbrechung des Vakuums. Außerdem entfallen dadurch zusätzliche Handlingsschritte, wodurch sich der Yield entsprechend verbessert. Sowohl Roth & Rau als auch InnoLas verfügen über umfassendes Know-How, um stabile und effiziente best-in-class Technologien zu implementieren.“
Die von Roth & Rau und InnoLas Systems entwickelte Gesamttechnologie ist Unternehmensangaben zufolge so konzipiert, dass diese sich auch in bestehende Fertigungslinien problemlos integrieren lasse und verstärke damit das innovative Systemportfolio (Systemangebot) der Meyer Burger Gruppe in der Photovoltaik Technologie. Aktuell seien mehrere Installationen mit dieser Technologie bei führenden Herstellern in Vorbereitung, heißt es in der Pressemitteilung abschließend.
PERC: Passivated Emitter and Rear Cell
Quelle: Meyer Burger Gruppe